Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.
Шығарылған газды тазарту әдісі
Шығарылатын газды тазарту сипаттамаларына сәйкес емдеуді төрт түрге бөлуге болады:
1. Суды жуу түрі (коррозиялық газдарды емдеу)
2. Тотығу түрі (жанғыш және улы газдармен күресу)
3. Адсорбция (адсорбциялық материалдардың түріне сәйкес, тиісті шығарылған газмен күресу үшін).
4.Плазманың жану түрі (пайдаланылған газдардың барлық түрлерін емдеуге болады).
Емдеудің әр түріне өзіндік артықшылықтары мен кемшіліктері бар, сонымен қатар оның қолданылу аясы бар. Емдеу әдісі суды жуған кезде, жабдық арзан және қарапайым, және тек суда еритін газдарды өңдей алады; Электр суының қосымшасының қолданылу ауқымы суды жуу түріне қарағанда жоғары, бірақ операция құны жоғары; Құрғақ типтегі емдеудің жақсы тиімділігі бар және газ ағынына қолданылмайды және оны бітеліп, ағынды болуы мүмкін.
Химиялық заттар мен олардың жартылай өткізгіштерінде жиі қолданылатын бұйымдарын олардың химиялық қасиеттері бойынша және олардың әртүрлі ауқымдарына қарай жіктеуге болады:
1. SIH4H2 сияқты жанғыш газдар және т.б.
2. Майлы газдар, мысалы, күл3, PH3 және т.б.
3. HF, HCL және т.б. сияқты коррозиялық газдар.
4. Парниктік газдар, мысалы, CF4, NF3 және т.б.
Жоғарыда аталған төрт газ қоршаған ортаға немесе адам ағзасына зиянды шығарындылардан басынан бастап, жалпы орталықтан шығарылған газды тазарту жүйесімен, бірақ бұл жүйе тек суды тазартады, сондықтан оны қолдану арқылы оның қолданылуы бар, сондықтан оны жартылай өткізгіш процестің шығарылған газымен айналысуға болмайды. Сондықтан шығарылатын газ проблемаларын газ проблемасын шағын түрде шешу үшін әр процестен алынған газ сипаттамаларына сәйкес, қосымша газ өңдеу жабдықтарын таңдау және сәйкестендіру қажет. Жұмыс алаңы көбінесе орталық шығаратын газды тазарту жүйесінен кетеді, көбінесе газ сипаттамаларына байланысты, көбінесе газ сипаттамаларына байланысты, көбінесе газдың ағып кетуіне әкеледі, сонымен қатар, газдың ағып кетуіне әкеледі, тіпті күрделі жағдайларда, тіпті жарылыс кезінде, сонымен қатар сайт қызметкерлерінің жұмысының қауіпсіздігін қамтамасыз ете алмайды. Сондықтан, жұмыс аймағында технологиялық газдың сипаттамаларына сәйкес келетін газ өңдеудің кішкене жабдықтарын конфигурациялау керек, бұл жұмыс аймағында тоқылған газды азайту үшін, кадрлардың қауіпсіздігін қамтамасыз ету үшін.
POST уақыты: AUG-10-2023