Жартылай өткізгіш өнеркәсіптегі газдарды пайдалану 1950 жылдардың басына дейін 1960 жылға дейін қайтады. Жартылай өткізгіш процесінде газдар негізінен жартылай өткізгіш материалдарды тазарту және қорғау үшін, олардың тазалығы мен сапасын қамтамасыз ету үшін қолданылады. Ең жиі қолданылатын газдар арасында азот пен сутегі болып табылады.
Жартылай өткізгіш технологиясы дамыған және өндірістік процестерді жетілдіру жалғасуда, газдарға сұраныс өсті. 1970 жылы жартылай өткізгішті дайындау технологиясын одан әрі дамыту, жұқа қабықтарды игеру және тұндыру, фторлы газдар біртіндеп, фторлы газдар (мысалы, SF6) және оттегінің қолданылуы жиі қолданылған газдармен айналды. 1980 ж. Біріктірілген тізбектерді игеруге және оларға сұраныстың артуымен газдарға сұраныстың артуы байқалды. Сутегі өндіріс процесінде, оның ішінде сутегі тазартқыш және сутегі буларының тұндыруында кеңінен қолданылады. 1990 жылдан бастап қазіргі уақытқа дейін жоғары сапалы газдар мен нақты газдарға сұраныс көбейтілді, өйткені жартылай өткізгіш құрылғының өлшемдері кішірейіп, жаңа процестер енгізілді. Мысалы, төтенше ультрафиолет литографиясын (EUV) қолдану азот пен сутегі сияқты өте жоғары тазалық газдарын қолдануды талап етеді.
Жартылай өткізгіш газ көбейтумен байланысты, ал аз өнімдердің дамуымен, газ декомпрессіне, газды анықтау өнімдеріне, газды анықтау өнімдеріне, газ клапандарын, газ қысымды өлшегіштеріне, газдың ағып кетуі және т.б., және олардың рөлі келесідей пайда болды:
Қысымды реттеушілер: қысым реттегіштері газ қысымын бақылау үшін қолданылатын құрылғылар болып табылады. Олар әдетте реттеуші клапаннан және қысым датчигінен тұрады. Қысым реттегіштер жоғары қысымды газды енгізеді және шығыс газының қысымын өлшенеді, ал клапанды арнайы өтінім талаптарына сәйкес келтіру арқылы түзетіңіз. Қысымды реттеушілер өнеркәсіп, өндірістік және зертханалар, сондай-ақ жартылай өткізгіш өнеркәсіп сияқты аудандарда кеңінен қолданылады, сондай-ақ жартылай өткізгіш өнеркәсіпте, сондай-ақ газбен қамтамасыз етудің тұрақтылығы мен қауіпсіздігін қамтамасыз ету.
Газ клапандары: Газ клапандары газдардың ағынын бақылау және газ өткелдерін жабу үшін қолданылады. Оларда әдетте газ ағынын ашатын немесе жабатын қосу / өшіру функциясы болады. Газ клапандарының, соның ішінде қолмен клапандар, электр клапандары және пневматикалық клапандар бар. Олар газ жүйелерінде кеңінен қолданылады, бұл газдардың қысымын, қысымы мен ағынын бақылау.
Газ қысымының өлшеуіштері: газ қысымының өлшеуіштері газдың қысым деңгейін өлшеу үшін қолданылады. Олар әдетте газ жүйелеріндегі сыни жерлерде қысымның өзгеруін бақылау және олардың қауіпсіз шектеулеріне көз жеткізу үшін орнатылады. Газ қысымы өлшегіштер өнеркәсіпте, өндірістік және зертханаларда кеңінен қолданылады, ал жартылай өткізгіштер де тартылды.
Газдың ағып кету детекторлары: Газ ағып кету детекторлары газ жүйелеріндегі ағып кетуді анықтау үшін пайдаланылады. Олар анықтайдыГаздың болуы ағып кетуіне жол бермеу үшін уақтылы қолдануға болатындай етіп, дабылды шығарады. Газ ағып кету детекторлары өнеркәсіптік, химиялық, мұнай және газды қосымшаларда кеңінен қолданылады, ал жартылай өткізгіш өнеркәсіп те болды.
POST уақыты: ақпан-20-2024