Ультра жоғары тазалық газдары жартылай өткізгішті жеткізу тізбегінде өте маңызды. Шын мәнінде, әдеттегі табаға, жоғары тазалық газдары кремнийдің өзінен кейінгі ең үлкен материалдық шығын болып табылады. Ғаламдық чиптің жетіспеушілігімен өнеркәсіп бұрынғыдан тезірек кеңейе түсуде - және жоғары тазалық газдарына сұраныс артып келеді.
Жартылай өткізгіш өндірісіндегі ең көп қолданылатын газдар азот, гелий, сутегі және аргон.
Nиктоген
Азот біздің атмосфераның 78% құрайды және өте мол. Бұл химиялық түрде инертті және өткізбейтін болып қалады. Нәтижесінде азот өз кезегінде, үнемді газ ретінде бірқатар салаларда өз жолын тапты.
Жартылай өткізгіш өнеркәсіп азоттың негізгі тұтынушысы болып табылады. Заманауи жартылай өткізгіштік шығаратын зауыт сағатына 50 000 текше метр азот қолданады деп күтілуде. Жартылай өткізгіш өндірісінде азот газды инерчинг және газды тазарту, сезімтал кремний вафлиін реактивті оттегінен және ауада ылғалдан қорғайды.
Гелий
Гелий - инертті газ. Бұл, сияқты азот, гелий химиялық тұрғыдан инертті болып табылады, бірақ ол сонымен қатар жоғары жылу өткізгіштіктің артықшылығы бар. Бұл әсіресе жартылай өткізгіш өндірісінде пайдалы, бұл оны жоғары энергия процестерінен алшақтатады және оларды жылу зақымынан және қажетсіз химиялық реакциялардан қорғауға мүмкіндік береді.
Сутегі
Сутегі электрониканы өндіру процесінде көп қолданылады, ал жартылай өткізгіш өндірісі де ерекшелік емес. Атап айтқанда, сутегі үшін сутегі қолданылады:
Ақша тазарту: кремний вафлиі әдетте жоғары температураға дейін қызады және кристалл құрылымын жөндеуге (алып қоюға) баяу салқындатылады. Сутегі жылуды вафлиге біркелкі ауыстыру және кристалл құрылымын қалпына келтіруге көмектесу үшін қолданылады.
Эпитакси: Ультра жоғары тазалық сутегі Силикон және Германия сияқты жартылай өткізгіш материалдардың эпитаксальды тұндыруында азайтатын агент ретінде қолданылады.
Тұтыну: Сутекті кремниген қабығына, олардың атомдық құрылымын бұзуға, төзімділікті арттыруға көмектесетін, оларға төзімділікке көмектеседі.
Плазмалық тазалау: сутегі плазмасы ультрафиолетті литографияда қолданылатын жарық көздерінен ластануды жоюда әсіресе тиімді.
Аргон
Аргон - тағы бір асыл газ, сондықтан ол азот пен гелий сияқты төмен реактивтілікті көрсетеді. Алайда, аргонның төмен иондау энергиясы оны жартылай өткізгіш қосымшаларда пайдалы етеді. Ионданудың салыстырмалы түрде жеңілдігі болғандықтан, аргон жартылай өткізгіш өндірісінде этчинг пен тұндыру реакциялары үшін бастапқы плазма газы ретінде қолданылады. Сонымен қатар, Аргон ультрафиолет литографиясына арналған экскемер лазерлерінде де қолданылады.
Неліктен тазалық маңызды
Әдетте, жартылай өткізгіш технологиялардағы жетістіктерге өлшем масштабы арқылы қол жеткізілді, ал жартылай өткізгіш технологиясының жаңа буыны кішігірім ерекшеліктермен сипатталады. Бұл бірнеше артықшылықтар береді: берілген көлемдегі транзисторлар, токтар жақсартылған, қуат тұтыну және жылдам коммутация.
Алайда, критикалық мөлшер азаяған сайын жартылай өткізгіш құрылғылар күрделі болады. Жеке атомдар лауазымы маңызды әлемде ақауларға төзімділік шегі өте тығыз. Нәтижесінде қазіргі жартылай өткізгіш процестер ең жоғары тазалығы бар технологиялық газдарды қажет етеді.
Вофле - газбен газбен жабдықтау жүйесінде мамандандырылған жоғары технологиялық кәсіпорын, лабораториялық газ жүйесі, өндірістік орталықтандырылған газ және газбен жабдықтау жүйесі, химиялық жеткізу жүйесі, жалпы жоспарлау, жалпы жоспарлау, жүйелік дизайн, жабдықты, құрастырылған компоненттер, жобалық сайттың қондырғысы және құрылысы, жалпы жүйелік тестілеу, техникалық қызмет көрсету және басқа да өнімдерді біріктірілген тәсілмен.
POST TIME: JUL-11-2023