Жартылай өткізгіш базар өскен сайын, тазалық пен дәлдік стандарттары қатаң болады. Жартылай өткізгіш өндірісінің сапасындағы анықтайтын факторлардың бірі - бұл процессте қолданылатын газдар. Бұл газдар өндіріс процесінде көптеген рөлдер ойнайды, соның ішінде:
Дәлдік процесті бақылау
Ластанудың алдын алу
Металлургиялық мүлікті жақсарту
Осы рөлдерді тиімді орындау үшін газбен жабдықтау және тарату жүйесі тиімді болуы керек. Жартылай өткізгіштерде қолданылатын газбен өңдеу жүйелерінің дизайнын жартылай өткізгіштердің сенімді және сапалы өндірісін қамтамасыз ету үшін берік компоненттермен және жеке жиналыстармен қолдау қажет.
Жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын газдар
Жартылай өткізгіштер өндіріс процесі процестің әртүрлі кезеңдерінде әртүрлі газдарды қолдануды талап етеді.
Азотты, сутегі, аргон және гелий сияқты жалпы газдарда олардың таза түрінде қолдануға болады, белгілі бір процестер арнайы қоспалардан қажет болуы мүмкін. Сілендер немесе каллоксандар, гексафлуоридтер, галлиидтер және көмірсутектер - жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын мартандырылған газдардың аз мөлшері. Бұл газдардың көпшілігі қауіпті немесе жоғары реактивті болуы мүмкін, газ жүйелерінің компоненттерін таңдау және дизайн жасауда қиындықтар туғызуы мүмкін.
Мұнда бірнеше мысалдар келтірілген:
\ Сутегі мен гелий кішкентай атом мөлшері мен салмағына байланысты құбырлар мен фитинг жүйелерінен оңай ағып кетуі мүмкін.
\ Silanes өте жанғыш және ауада өздігінен жанып кетуі мүмкін (авто белгіні).
\ Суды төгіп, майлау және камералық сахналар қоршаған ортаға ағып жатқан кезде, парниктік газдар пайда болады.
\ Сутек фториді (газды иемдену) металл құбырларға жоғары коррозияға ұшырайды.
\ Триметилгалий мен аммиакты өңдеу қиынға соғуы мүмкін - температураның аз ауытқуы және қысым талаптары тұндыру процесіне әсер етуі мүмкін.
Бұл газдардың жағымсыз әсерлерін азайту үшін технологиялық жағдайларды бақылау жүйелік дизайн кезінде басым бағыт болуы керек. Құрылыс процесінде AFK диафрагмалық клапандары сияқты жоғары сапалы компоненттерді пайдалану бірдей маңызды.
Жүйе дизайнының шешімдері
Жартылай өткізгіштік газдар көп тазалық және инертті жағдайда, мысалы, этчинг және тұндыру газдары сияқты инертті жағдайларды қамтамасыз етеді немесе реакцияларды жақсартады. Мұндай газдардың ағуы немесе ластануы жағымсыз әсерге ие болуы мүмкін. Сондықтан, жүйенің құрамдас бөліктері герметикалық түрде жабылған және коррозияға төзімді, сондай-ақ ластанудың мүмкін еместігін және тазалықты сақтауға мүмкіндік беретін тегіс, тегіс қабат (электролитикалық жылтырату) болуы өте маңызды.
Сонымен қатар, осы газдардың кейбіреулеріне қажетті технологиялық жағдайларға қол жеткізу үшін қыздыру немесе салқындатылуы мүмкін. Жақсы оқшауланған компоненттер температураны бақылауды қамтамасыз етеді, бұл түпкілікті өнімнің тиімді жұмыс істеуі үшін маңызды болып табылады.
Дереккөз кірістен PAFK құрамдас бөліктерінің кең ауқымы ультра жоғары тазалықты, температураны, температура, қысым, қысым және ағындарды және вакуумдық камераларда қажет.
Жартылай өткізгіш фабалардағы сапалы компоненттері бар жобаланған жүйелер
Сапалы компоненттердің рөлі және дизайнды оңтайландырудың рөлі жартылай өткізгіштерді қауіпсіз бақылау және қауіпсіз өндіру үшін өте маңызды. Пайдаланылған компоненттерді әр түрлі процестермен сәйкестендіру үшін қажет.
Ультра жоғары тазалық
Ағып кетпейтін тығыздағыштар
Температураны бақыланатын оқшаулау
Қысымды бақылау
Коррозияға төзімділік
Электролиттік жылтыратумен емдеу
POST уақыты: қазан-09-2023