Жоғары таза газ құбырларының технологиясы жоғары таза газбен жабдықтау жүйесінің маңызды бөлігі болып табылады, ол қажетті жоғары таза газды пайдалану нүктесіне жеткізудің негізгі технологиясы болып табылады және әлі де білікті сапаны сақтайды;Жоғары таза газ құбырларының технологиясы жүйенің дұрыс дизайнын, арматура мен аксессуарларды таңдауды, құрылысты және орнатуды және сынақтан өткізуді қамтиды.Соңғы жылдары кең ауқымды интегралды схемалармен ұсынылған микроэлектроника өнімдерін өндіруде жоғары таза газдардың тазалығы мен қоспаларының құрамына барған сайын қатаң талаптар жоғары таза газдарды құбырлар технологиясын барған сайын алаңдатты және баса назар аударды.Төменде материалды таңдаудан жоғары таза газ құбырларына қысқаша шолу берілгенof құрылыс, сондай-ақ қабылдау және күнделікті басқару.
Жалпы газдардың түрлері
Электроника өнеркәсібіндегі кең таралған газдардың классификациясы:
Жалпы газдар（Сусымалы газ）: сутегі (H2), азот (Н2), оттегі (О2), аргон (А2), т.б.
Арнайы газдарSiH болып табылады4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… т.б.
Арнайы газдардың түрлерін әдетте коррозиялық деп жіктеуге боладыгаз, улыгаз, жанғышгаз, жанғышгаз, инерттігаз, және т.б. Кеңінен қолданылатын жартылай өткізгіш газдар әдетте төмендегідей жіктеледі.
(i) коррозиялық/улыгаз: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…т.б.
(ii) Тұтанғыштықгаз: Х2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, Б2H6, CH2F2,CH3F, CO… т.б.
(iii) жанғыштықгаз: О2, Cl2, Н2О, НФ3… т.б.
(iv) Инерттігаз: Н2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… т.б.
Көптеген жартылай өткізгіш газдар адам ағзасына зиянды.Атап айтқанда, бұл газдардың кейбірі, мысалы, SiH4 өздігінен жану, егер ағып кету ауадағы оттегімен қатты әрекеттеседі және жануды бастайды;және AsH3өте улы, кез келген шамалы ағып кету адам өміріне қауіп төндіруі мүмкін, бұл осы айқын қауіптерге байланысты, сондықтан жүйе дизайнының қауіпсіздігіне қойылатын талаптар ерекше жоғары.
Газдардың қолдану аясы
Қазіргі заманғы өнеркәсіптің маңызды негізгі шикізаты ретінде газ өнімдері кеңінен қолданылады және металлургия, болат, мұнай, химия өнеркәсібі, машина жасау, электроника, шыны, керамика, құрылыс материалдары, құрылыс салаларында кең таралған газдар немесе арнайы газдар көп қолданылады. , тамақ өңдеу, медицина және медицина секторлары.Газды қолдану, атап айтқанда, осы кен орындарының жоғары технологиясына маңызды әсер етеді және оның таптырмас шикізаты немесе технологиялық газы болып табылады.Әртүрлі жаңа өнеркәсіп салаларының және заманауи ғылым мен техниканың қажеттіліктері мен ілгерілетуімен ғана газ өнеркәсібінің өнімдерін әртүрлілік, сапа және сандық жағынан секіріспен дамытуға болады.
Микроэлектроника және жартылай өткізгіш өнеркәсібінде газды қолдану
Газды пайдалану әрқашан жартылай өткізгіш процесінде маңызды рөл атқарды, әсіресе жартылай өткізгіштік процесс дәстүрлі ULSI, TFT-LCD-ден қазіргі микроэлектро-механикалық (MEMS) өнеркәсіпке дейін, әртүрлі салаларда кеңінен қолданылды. өнімдерді өндіру процесі ретінде жартылай өткізгіш деп аталатын процесті қолданатын.Газдың тазалығы компоненттердің өнімділігіне және өнім шығымына шешуші әсер етеді, ал газбен жабдықтаудың қауіпсіздігі қызметкерлердің денсаулығына және зауыт жұмысының қауіпсіздігіне байланысты.
Жоғары таза газды тасымалдаудағы жоғары таза құбырлардың маңызы
Тот баспайтын болатты балқыту және материал жасау процесінде тоннасына шамамен 200 г газды сіңіруге болады.Тот баспайтын болатты өңдегеннен кейін оның беті әртүрлі ластаушы заттармен жабысып қана қоймай, сонымен қатар оның металл торында да белгілі бір мөлшерде газды сіңіреді.Құбыр арқылы ауа ағыны болған кезде, металл газдың осы бөлігін сіңіріп, таза газды ластап, ауа ағынына қайта кіреді.Түтіктегі ауа ағыны үзіліссіз ағын болса, түтік қысыммен газды адсорбциялайды, ал ауа ағыны өтуін тоқтатқанда, түтік арқылы адсорбцияланған газ шешу үшін қысымның төмендеуін құрайды, ал еріген газ түтіктегі таза газға да түседі. қоспалар ретінде.Бұл кезде адсорбция мен ажырату қайталанады, сондықтан түтіктің ішкі бетіндегі металл да белгілі бір мөлшерде ұнтақ шығарады және бұл металл шаң бөлшектері түтік ішіндегі таза газды да ластайды.Түтіктің бұл сипаттамасы тасымалданатын газдың тазалығын қамтамасыз ету үшін өте маңызды, ол түтіктің ішкі бетінің өте жоғары тегістігін ғана емес, сонымен қатар жоғары тозуға төзімділікті талап етеді.
Күшті коррозиялық өнімділігі бар газды пайдаланған кезде құбырлар үшін коррозияға төзімді баспайтын болаттан жасалған құбырларды пайдалану керек.Әйтпесе, құбырдың ішкі бетінде коррозияға байланысты коррозия дақтары пайда болады, ал ауыр жағдайларда, таралатын таза газды ластайтын металл аршу немесе тіпті тесудің үлкен аймағы болады.
Тазалығы жоғары және жоғары ағынды газ тасымалдау және тарату құбырларын қосу.
Негізінде, олардың барлығы дәнекерленген және дәнекерлеу кезінде қолданылатын құбырлар ұйымда өзгеріс болмауы керек.Көміртегі мөлшері тым жоғары материалдар дәнекерлеу кезінде дәнекерленген бөлшектердің ауа өткізгіштігіне ұшырайды, бұл құбыр ішіндегі және сыртындағы газдардың өзара енуін қамтамасыз етеді және тасымалданатын газдың тазалығын, құрғақтығын және тазалығын бұзады, нәтижесінде газдың жоғалуына әкеледі. біздің барлық күш-жігеріміз.
Қорытындылай келе, жоғары таза газ және арнайы газ тасымалдау құбыры үшін жоғары тазалықтағы баспайтын болаттан жасалған құбырды арнайы өңдеуді қолдану қажет, жоғары тазалықтағы құбырлар жүйесін (құбырларды, фитингтерді, клапандарды, VMB, VMP қоса) жасау керек. жоғары таза газ тарату маңызды миссияны алады.
Тасымалдау және тарату құбырларының таза технологиясы туралы жалпы түсінік
Құбырлары бар өте таза және таза газ корпусының берілісі тасымалданатын газдың үш аспектісіне белгілі бір талаптар немесе бақылаулар бар екенін білдіреді.
Газдың тазалығы: gГаз тазалығындағы қоспа атмосферасының мөлшері: Газдағы қоспа атмосферасының мөлшері, әдетте газ тазалығының пайызбен көрсетілген, мысалы, 99,9999%, сонымен қатар қоспа атмосферасы мазмұнының көлемдік қатынасы ретінде көрсетіледі ppm, ppb, ppt.
Құрғақтық: газдағы іздік ылғалдың мөлшері немесе ылғалдылық деп аталатын мөлшер, әдетте шық нүктесімен өрнектеледі, мысалы, атмосфералық қысым шық нүктесі -70.C.
Тазалық: газдың құрамындағы ластаушы бөлшектердің саны, бөлшектердің өлшемі мкм, сығымдалған ауа үшін қанша бөлшек/М3 экспрессиялануы керек, әдетте мұнайдың құрамын жабатын қанша мг/м3 еріксіз қатты қалдықпен де көрсетіледі. .
Ластаушы заттардың өлшемдері бойынша жіктелуі: ластаушы заттардың бөлшектері, негізінен оның бөлшектерінің өлшемдеріне сәйкес құбырлардың тазартылуына, тозуына, металл бөлшектерінен, атмосфералық күйе бөлшектерінен, сондай-ақ микроорганизмдерден, фагтардан және құрамында ылғал бар газ конденсация тамшыларымен және т.б. болып бөлінеді
а) Үлкен бөлшектер – бөлшектердің өлшемі 5 мкм-ден жоғары
б) Бөлшек – материал диаметрі 0,1мкм-5мкм
c) Ультра микробөлшектер – бөлшектердің өлшемі 0,1 мкм-ден аз.
Бұл технологияны қолдануды жақсарту, бөлшектердің өлшемдері мен мкм бірліктерін перцептивті түсіну мүмкіндігін алу үшін анықтама үшін арнайы бөлшектердің күйінің жиынтығы берілген.
Төменде нақты бөлшектерді салыстыру берілген
| Атауы /Бөлшектің өлшемі (мкм) | Атауы /Бөлшектің өлшемі (мкм) | Аты/бөлшек өлшемі (мкм) |
| Вирус 0,003-0,0 | Аэрозоль 0,03-1 | Аэрозольденген микротамшы 1-12 |
| Ядролық отын 0,01-0,1 | 0,1-6 бояу | Күл 1-200 |
| Қара көміртегі 0,01-0,3 | Сүт ұнтағы 0,1-10 | Пестицид 5-10 |
| Шайыр 0,01-1 | Бактериялар 0,3-30 | Цемент шаңы 5-100 |
| Темекі түтіні 0,01-1 | Құм шаңы 0,5-5 | Тозаң 10-15 |
| Силикон 0,02-0,1 | Пестицид 0,5-10 | Адам шашы 50-120 |
| Кристалданған тұз 0,03-0,5 | Концентрлі күкірт шаңы 1-11 | Теңіз құмы 100-1200 |
Жіберу уақыты: 14 маусым 2022 ж