Жоғары сапалы газ құбыры технологиясы - бұл жоғары тазалық газбен жабдықтау жүйесінің маңызды бөлігі болып табылады, бұл қажетті жоғары сапалы газды пайдалану нүктесіне жеткізудің негізгі технологиясы болып табылады және әлі де білікті сапаны сақтайды; Жоғары сапалы газ құбырларының технологиясы жүйенің дұрыс дизайнын, арматура мен аксессуарларды іріктеу, құрылыс және монтаждау және тестілеуді қамтиды. Соңғы жылдары ірі ауқымды интегралды схемалар ұсынған микроэлектроника өнімдерін өндірудегі жоғары тазалық газдарының тазалық-қоспалық құрамына қойылатын қатаң талаптар қойылып, жоғары тазалық газдардың құбырлы технологиясын қамтыды және атап өтті. Төменде материалдық іріктеуден алынған жоғары сапалы газ құбырларының қысқаша шолуыof Құрылыс, сонымен қатар қабылдау және күнделікті басқару.
Жалпы газдардың түрлері
Электроника саласындағы жалпы газдардың жіктелуі:
Жалпы газдар(Үлкен газ): Судрен (сағ2), азот (n2), оттегі (о)2), аргон (а2) және т.б.
Мамандық газдарыsih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Бак,CF4 ,NH3,Покль3, Sih2cl2 Sikcl3,NH3, Би3 ,Сиыр4 ,Түсті сынып3 ,Серіктес,C2F6, N2o,F2,Н,HBR SF6...... т.б.
Арнайы газдардың түрлері, әдетте, коррозиялық деп жіктеледігаз, улыгаз, контейнергаз, жанғышгаз, инерттігазЖалпы қолданылатын жартылай өткізгіш газдар әдетте келесідей жіктеледі.
(i) коррозиялық / улыгаз: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, РН3, Cl2, Bcl3... т.с.
(ii) Жанғыштықгаз: Н2, Ch4, Sih4, РН3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,И3F, CO ... және т.б.
(iii) жанғышгаз: O2, Cl2, N2О, nf3... және т.б.
(iv) инерттігаз: N2, Cf4, С2F6, С4F8,С.ф6, Co2, Не, Кр, ол ... және т.б.
Көптеген жартылай өткізгіш газдар адам ағзасына зиянды. Атап айтқанда, бұл газдардың кейбіреулері SIH сияқты4 Егер ағып кету ауадағы оттегімен қатты әсер етсе және күйіп қалуы мүмкін өздігінен жану; және күл3Жоғары уытты, кез-келген шамалы ағып кету адам өмірінің қаупін тудыруы мүмкін, сондықтан бұл айқын қауіптерге байланысты, сондықтан жүйелік дизайнның қауіпсіздігіне қойылатын талаптар өте жоғары.
Газдардың қолданылу аясы
Заманауи саланың маңызды шикізаты ретінде, газ өнімдері кеңінен қолданылады, ал металлургия, болат, мұнай, химия өнеркәсібі, машиналар, электроника, шыны, керамика, құрылыс материалдары, құрылыс материалдары, құрылыс материалдары, медицина және медициналық секторлар. Газды қолдану осы кен орындарының жоғары технологиясына маңызды әсер етеді және оның ажырамас шикізат газы немесе технологиялық газ болып табылады. Тек әртүрлі жаңа өнеркәсіптік және заманауи ғылым мен техниканың қажеттіліктерімен және заманауи ғылым мен техниканы ілгерілету арқылы газ өнеркәсібі өнімдері әр түрлі, сапасы мен саны бойынша секірістермен және шекаралармен дами алады.
Микроэлектроника және жартылай өткізгіш өнеркәсіпке газ қолдану
Газды қолдану жартылай өткізгіш процесінде әрқашан маңызды рөл атқарды, әсіресе жартылай өткізгіш процесс, әсіресе дәстүрлі ULSI, TFT-LCD-ді қазіргі микроэнергетикалық (MESER-механикалық (MESS) индустриясында кеңінен қолданылған. Газдың тазалығы компоненттер мен өнімнің шығымдылығына шешуші әсер етеді, ал газбен жабдықтаудың қауіпсіздігі қызметкерлердің денсаулығы мен өсімдіктердің қауіпсіздігіне байланысты.
Жоғары тазалық газ тасымалдаудағы жоғары тазалық құбырларының маңыздылығы
Тот баспайтын болаттан еріген және материалдарды жасау процесінде, шамамен 200 г газды тоннасына сіңіруге болады. Тот баспайтын болаттан кейін, оның бетінің әр түрлі ластаушы заттармен ғана емес, сонымен бірге металл торында да белгілі бір газды сіңірді. Құбыр арқылы ауа ағындары болған кезде, металл газдың бұл бөлігін сіңіреді, таза газды ластайды ауа ағынына қайта кіреді. Түтіктің ауа ағыны тоқтаған кезде, түтік қысым астында, ал ауа ағыны өтуді тоқтатқан кезде, алқабымен газды шешіңіз, ал шығатын газ, ал шешілген газ түтіктің ішіндегі таза газды қоспалар ретінде де енгізеді. Сонымен бірге, адсорбция және ажыратымдылық қайталанады, сондықтан түтіктің ішкі бетіне металл белгілі бір мөлшерде ұнтақ шығарады, сондықтан бұл металл шаң бөлшектері түтіктің ішіндегі таза газды да ластайды. Түтіктің бұл сипаттамасы тасымалданатын газдың тазалығын қамтамасыз ету үшін қажет, бұл түтіктің ішкі бетінің өте жоғары тегістігін ғана емес, сонымен қатар жоғары тозуға төзімді.
Қатты коррозиялық өнімділігі бар газ қолданылған кезде, коррозияға төзімді тот баспайтын болаттан жасалған құбырлар құбырлар үшін пайдаланылуы керек. Әйтпесе, құбыр ішкі бетіне коррозияға ұшырайды, ал ауыр жағдайларда, ал ауыр жағдайларда, пішінделетін таза газды ластайтын, металлургияның немесе тіпті перфорацияның үлкен аумағы болады.
Газдың жоғары сапалы және жоғары тазалыққа және үлкен шығындар құбырларын тарату.
Негізінде, олардың барлығы дәнекерленеді, ал қолданылған түтіктер дәнекерлеу қолданылған кезде ұйымда өзгеріссіз қалуы керек. Көміртекті бар материалдар дәнекерленген материалдар дәнекерленген кезде дәнекерленген бөлшектердің ауаның өткізгіштігіне ұшырайды, бұл құбырдың ішіне және сыртына газдардың өзара енуіне және берілмеген газдың тазалығын, құрғақтық пен тазалықты бұзады, нәтижесінде біздің барлық күш-жігеріміздің жоғалуына әкеледі.
Қорытындылай келе, жоғары тазалық газы мен арнайы газ тарату құбыры үшін, жоғары тазалығы баспайтын болаттан жасалған құбырларды арнайы емдеуді қолдану қажет, бұл жоғары тазалық газды (фитингтер, арматура, клапандар, VMB, VMP) алу үшін өмірлік миссияны алады.
Тарату және тарату құбырлары үшін таза технологияның жалпы түсінік
Құбырлармен жоғары таза және таза газдың берілуі газдың үш аспектісі үшін белгілі бір талаптар немесе бақылау бар екенін білдіреді.
Газдың тазалығы: GGAS тазалығыдағы атмосфераның мазмұны: газдың ластануының мазмұны: газдың ені, әдетте, газдың тазалығы пайызы, мысалы, газдың тазалығы пайызы, мысалы, 99,9999%, сонымен қатар, PPM, PPB, PPT кірістің мөлшері ретінде көрсетілген.
Құрғақтық: Газдағы ылғалдың мөлшері немесе ылғалдылық мөлшері, немесе әдетте Dew нүктесі тұрғысынан, мысалы, атмосфералық қысым Dew Point -70. C.
Тазалық: газдағы ластаушы бөлшектердің саны, бөлшектердің мөлшері, мкм мөлшері, қанша бөлшектер / м3 сығымдалған ауаны экспресс, әдетте мг / м3 экспрессивті ауаны құрайды, сонымен қатар мг / м3 қанша мг / м3 болатындай етіп, ол майдың мөлшерін қамтитын.
Ластағыш өлшемінің жіктелуі: ластаушы заттар бөлшектері, негізінен, металл бөлшектер, атмосфералық түстер, сондай-ақ, бөлшектердің мөлшеріне сәйкес микроорганизмдер, фельдшерлер және ылғалдандыратын газ конденсациясы тамшылары және т.б. бөлінеді.
A) Ірі бөлшектер - бөлшектердің мөлшері 5 мк
б) бөлшектер - 0,1 мкм-5 мкм аралығында
в) ультра микро бөлшектер - бөлшектердің мөлшері 0,1 мкмнен аз.
Осы технологияның қолданылуын жақсарту үшін бөлшектердің мөлшері мен мкм бірліктерін қабылдауға қабілетті болуы үшін анықтама үшін белгілі бір бөлшектердің жиынтығы ұсынылады
Төменде белгілі бір бөлшектерді салыстыру
| Аты / Бөлшектердің мөлшері (мкм) | Аты / Бөлшектердің мөлшері (мкм) | Аты / Бөлшектердің өлшемі (мкм)) |
| Вирус 0.003-0.0 вирус | Аэрозоль 0.03-1 | 1-12 аэрозолландатталған микроөйік |
| 0.01-0.1 ядролық отыны | Бояу 0.1-6 | Күлкі Күлкі 1-200 |
| Көміртекті қара 0.01-0.3 | Сүт ұнтағы 0.1-10 | Пестицид 5-10 |
| 0.01-1 шайыры | Бактериялар 0.3-30 | Цемент шаңы 5-100 |
| Темекі түтіні 0.01-1 | Құм шаңы 0,5-5 | Тозаң 10-15 |
| Силикон 0.02-0.1 | Пестицид 0,5-10 | Адамның шашы 50-120 |
| Кристалданған тұз 0.03-0.5 | Концентрацияланған күкірт шаңы 1-11 | Теңіз құмы 100-1200 |
POST TIME: JUN-14-2022